我国应要点支撑立异工艺和规划办法研讨

  本报上海9月26日讯（记者黄辛）由我国微米纳米技能学会、我国科学院上海微体系与信息技能研讨所和上海交通大学、复旦大学等一起主办的我国微米/纳米技能第九届学术年会日前在上海举行。丁衡高、王立鼎、解思深、钱逸泰、洪茂椿院士等专家学者800余人参加了会议。

  微米/纳米技能是指微米、纳米级的资料器材规划、制作、丈量、操控和使用技能，展开至今已成为电子、机械、资料、物理、化学以及生物等多学科穿插交融的热门研讨范畴。它探究物质在微观和介观尺度上的特性，并以此开发了许多新颖功用，是电子、IT和生化等高新技能工业持续展开的重要根底。

  我国微米纳米技能学会声誉理事长、大会主席丁衡高在大会上作特邀陈述《微米纳米科学技能展开及工业化启示》。他以为，微米纳米科学技能展开迅速，近年来在工业化方面也获得不少发展。我国应展开立异工艺和规划办法研讨，进步微机电（MEMS）使用和工业化才能；展开根底研讨，进步MEMS器材和体系水相等。

  丁衡高以为，只要将纳米科技与MEMS的立异效果相结合，才能在未来的微/纳器材与体系展开中获得突破性效果。为促进我国微米/纳米技能的健康长足展开，科技办理部门应要点支撑自主立异的加工和规划技能；引导纳米科技与MEMS技能相结合，加强两边的技能交流和技能合作；加强根底研讨，展开根底试验，经过根底理论和机理研讨，从本质上处理MEMS器材和体系的使用问题，提高MEMS器材和体系水平；一致和谐办理纳米科技与MEMS技能的财物金额的投入，加强微观规划和引导。